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靜壓導軌是精密超精密加工機床的重要功能單元，液壓站是靜壓導軌正常運行的必要輔助單元。為了保持靜壓導軌的高精度，液壓站必須能夠為靜壓導軌提供壓力非常穩定的潤滑油。設計了一種高精度靜壓導軌液壓站，采用變頻電機驅動精密齒輪泵供給潤滑油。閉環反饋調節器用于控制潤滑油的穩定輸出。實測表明，該液壓站輸出壓力穩定精度可達0.05%，應用于超精密機床靜壓導軌取得了良好的效果。